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晶圆是制造芯片的圆形硅片基底,由高纯度单晶硅切割抛光而成。一片晶圆上可同时制造成百上千颗芯片,尺寸越大产出越高,主流为 12 英寸(300 毫米)晶圆。它是半导体产业的原材料起点。
| 中文名 | 晶圆 |
| 英文名 | Wafer |
| 材料 | 高纯度单晶硅 |
| 主流尺寸 | 12 英寸(300 毫米) |
| 制备工艺 | 直拉、切片、抛光 |
晶圆(Wafer)是用高纯度单晶硅制成的圆形薄片,是芯片制造的基础衬底。所有的晶体管、电路都在晶圆表面通过光刻、刻蚀、掺杂等工艺一层层构筑出来,因此晶圆是整个半导体产业的原材料起点。
制造晶圆先要提炼出高纯度的多晶硅,再通过直拉法生长出圆柱状单晶硅锭,然后像切香肠一样切成薄片,经研磨、抛光得到镜面般平整的晶圆。一片晶圆上会以网格方式重复制造大量相同的芯片,制造完成后再切割成一颗颗独立的裸片(Die)。
晶圆是 CPU、GPU、内存、传感器等所有集成电路的载体。芯片代工厂(如台积电、中芯国际)的核心业务就是在晶圆上加工电路;产业界常用每片晶圆能切出多少合格芯片来衡量成本和良率。业界正推动从 300 毫米向更大尺寸探索,但工艺挑战巨大。
问:为什么晶圆是圆的,而芯片是方的?答:晶圆的圆形来自单晶硅锭的圆柱形状,圆形在生长和旋转加工时应力最均匀。芯片则要方便切割和封装,所以做成矩形,圆晶圆边缘无法完整切出方芯片的部分只能舍弃。
问:一片晶圆能做多少颗芯片?答:取决于芯片面积。小如手机指纹芯片,一片晶圆能出上万颗;大如高性能 GPU 裸片,一片可能只有几十到上百颗,芯片越大良率越难控制,成本也越高。
| 中文名 | 晶圆 |
| 英文名 | Wafer |
| 材料 | 高纯度单晶硅 |
| 主流尺寸 | 12 英寸(300 毫米) |
| 制备工艺 | 直拉、切片、抛光 |
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