中微公司

中微公司(AMEC)是一家中国半导体设备公司,以等离子体刻蚀设备与 MOCVD 设备著称。

能力

• 介质刻蚀设备进入先进产线
• MOCVD 用于 LED 与化合物半导体
• 刻蚀环节国产突破代表
• 服务国内外晶圆厂

意义

在刻蚀这一关键工艺环节实现突破,是国产半导体设备自主的重要代表。